Kalrez® Dichtungen für die Halbleiterindustrie

Dichtungen für praxisbewährte Kontaminationskontrolle in der Halbleiterindustrie

Reinheit ist substanziell für eine hohe Waferausbeute, und darum sind Kalrez® Dichtungen so ausgelegt, dass sie zur Vermeidung von Kontaminationen durch Partikel, Ausgasung und extrahierbare Stoffe beitragen.

Kalrez®  Dichtungen für die Halbleiterindustrie bewähren sich in der Fertigung von Halbleiterchips.

Sie können zu verlängerten Wartungsintervallen und damit zur Senkung der langfristigen Betriebskosten in einer Vielzahl von Halbleiterprozessen beitragen. In statischen und dynamischen Anwendungen bei Kunden zeigten Kalrez® Dichtungen eine höhere mechanische Festigkeit, eine geringere Partikelbildung und längere Lebensdauern als andere Wettbewerbs-Perfluorelastomerteile.  

 

Vorteile in der Fertigung

Kalrez®  Dichtungen für die Halbleiterindustrie können Vorteile für vielfältige Fertigungsschritte in der Waferproduktion bieten, wie:

  • Abscheidung
  • Ätzen
  • Veraschen/Stripping
  • thermisch
  • nasschemisch

Leistungvorteile für Spansion

Auf der Suche nach Materialoptionen, die langlebigere Dichtungen bei zugleich geringerer Partikelbildung ermöglichen sollten, wandte sich Spansion, der größte Anbieter von Flash-Speicherlösungen, an DuPont. In unterschiedlichen Prozessen eingesetzte Dichtungen verursachten Probleme in Form hoher Partikelzahlen und Leckagen aufgrund von Erosion und bleibender Druckverformung. Bei Einsatz von Kalrez® 9100 Teilen reduzierten sich die Dichtungserosion und die Partikelbildung deutlich, und auch die elastischen Rückstelleigenschaften waren besser.

Bewährte Spitzenleistung

In einem am internationalen Forschungszentrum IMEC in Belgien durchgeführten Vergleich von Kalrez® 9100 und herkömmlichen Dichtungen in einem Absperrventil und an der oberen Düsenposition zeigte die 9100er Dichtung auch nach 5.000 Zyklen keinerlei Schäden oder Brüche.

Aufgrund dieses Ergebnisses entschloss sich IMEC, bestehende Perfluorelastomer-Dichtungen an allen Positionen gegen Kalrez® 9100 Dichtungen auszutauschen. Zur IMEC-Fallstudie

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