Kalrez® geklebte Türdichtungen

Geklebte Türdichtungen
Kalrez® geklebte Türdichtungen

Kalrez® geklebte Türdichtungen für Sperrschieber und Schlitzventile bieten eine höhere Effizienz als konventionelle O-Ringe, weil sie die Partikelbildung reduzieren, die Lebensdauer der Dichtung verlängern und bei vorbeugenden Wartungsmaßnahmen die für den Wechsel notwendige Zeit minimieren.

DuPont™ Kalrez® geklebte Türdichtungen zeichnen sich durch ihre einfache Montage und eine geringe Partikelbildung aus. Sie kombinieren anwendungsspezifische Gestaltung und eine unternehmenseigene Klebetechnologie mit der sehr hohen Plasmabeständigkeit der speziell für Halbleiteranwendungen entwickelten Kalrez® Perfluorelastomer-Dichtungsmaterialien. Anders als konventionelle O-Ringe sind diese Dichtungen in einer bestimmten Position fixiert, so dass sie sich beim Betätigen der Türen nicht rollen oder verdrehen und kein Abrieb entsteht. Zusätzlich wurde die Geometrie der Dichtungen mittels Finite-Elemente-Analyse (FEA) optimiert, um örtliche Spannungskonzentrationen zu minimieren. Im Vergleich zu konventionellen O-Ringen ließ sich dadurch die Partikelbildung deutlich verringern und die Dichtwirkung erheblich verbessern.

Typische Anwendungsbereiche
Zu den Möglichkeiten für den Einsatz geklebter Türdichtungen anstelle von O-Ringen gehören Sperrschieber und Schwalbenschwanznuten von Schlitzventilen für den Einsatz in partikelsensitiven Ätz-, Veraschungs-, Strip- und/oder Abscheideverfahren bei der Halbleiterherstellung.

Geringere Partikelbildung und verlängerte Lebensdauer der Dichtung im Vergleich zu konventionellen O-Ringen

  • Das Dichtungselement wird in einer bestimmten Position fixiert, so dass sich die Dichtung während der Nutzung nicht rollen oder verdrehen kann
  • Die spezielle Gestaltung vermeidet den für O-Ringe typischen Abrieb an der Kante der Schwalbenschwanznut während Betätigung/Druckbelastung
  • Kalrez® Typen zur Minimierung der Partikelbildung in reaktiven Plasmen
  • Kalrez® Ultrapure™ erhält eine spezielle Nachreinigung und Verpackung zur Vermeidung von Kontaminationen
  • Verbesserte Dichtwirkung – eine optimierte Gestaltung minimiert örtliche Spannungskonzentrationen

Kürzere Austauschzeit während der präventiven Wartung im Vergleich zu O-Ring-Dichtungen

  • Schnelle und einfache Montage/Demontage
  • Reduziert Montageprobleme, die häufig in Verbindung mit O-Ring-Dichtungen auftreten
  • Die Reinigung der Stopfbuchse während der präventiven Wartung entfällt
  • Der auf die Verpackung gedruckte Strichcode sowie auf die Teilenummer und die Kalrez® Produktnummer, die auf der Rückseite handelsüblicher, zum Verkleben vorgesehener Türdichtungen angegeben sind, ermöglichen die Rückverfolgbarkeit und Identifikation des Produkts zur Sicherstellung, dass es sich um ein Kalrez® Perfluorelastomer(FFKM)-Teil handelt.

Verfügbarkeit
DuPont™ Kalrez® geklebte Türdichtungen sind für zahlreiche Ventiltypen verfügbar, die Hersteller von Systemen für die Halbleiterindustrie verwenden.  Zudem können kundenspezifische Kalrez® geklebte Türdichtungen für die meisten Sperrschieber- und Schlitzventil-Türanwendungen entwickelt werden, wenn sie nicht bereits verfügbar sind.  Die für Kalrez® UltraPure™ typische Nachreinigung und Verpackung wird standardmäßig bei allen geklebten Türdichtungen angewendet.